三维光学轮廓仪 HD9800+

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详细介绍：

先进的光学轮廓仪，用于存储器测头计量，全自动设计实现优化的PTR和平面度测量

HD9800+ 三维大幅面轮廓测量系统是全球先进的光学轮廓仪，适用于在线数据存储磁头的计量。该系统将具有计量功能的光学表征技术与先进的自动化技术相结合，可执行出色的 PTR 和平整度测量。HD9800+ 吸收了数十年的工业高清计量经验，具有白光干涉（WLI）、自校准、LED 高强度照明、易操作软件及其他多项优势，提供可靠的高分辨无损计量，帮助数据存储制造商改进工艺质量，提升良率。

特点精准度标杆

HD9800+ 系统的耐振动设计、集成式气浮隔震台以及紧随行业技术路线的生产友好型架构，可保证车间量产使用期间测量的完整性。该系统采用高分辨摄像头，提供卓越的横向分辨率和准确度，同时具有多种专为先进工艺控制设计的硬件和分析软件功能，是适用于数据存储磁头应用的速度快、计量功能强的系统。

卓越的 PTR 和平整度测量能力

HD9800+ 可提供快、准确的滑块极尖沉降（PTR）和磁头支承面平整度三维测量。该系统还可对照内置基准持续校准，无需再对台阶高度进行定期校准。这种自校准确保了长期的稳定性和关联性，大幅缩短了校准时间，终提供现有可靠、适用性强、准确的工业计量。

优化性能的选装配件


HD9800+ 可选装多种增强配件，满足用户设施的特定要求：


Dual Accu Phase（DAP）软件，为不同材料的磁头提供 PTR 计量与AFM 基准的关联

快速倾斜/俯仰模式，提供简单的操作能力和佳的可重复性，实现全天候生产运行

SureVision软件，通过对感兴趣特征的自动图案识别，执行刻蚀深度测量和位置测量，无需操作人员干预

高级软件分析，新增多项功能

灯塔，向车间人员突出展示运行状态

条形码扫描器，简化材料和工作流程处理


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